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区分金属应变效应与半导体压阻效应,说明几何项与电阻率变化项对电阻变化的贡献及灵敏度系数主次关系。
应变效应:导体或半导体材料受力产生机械变形时,其电阻值发生变化的现象。对金属电阻丝而言,应变效应主要表现为几何尺寸变化引起的电阻相对变化。
压阻效应:半导体材料受力变形时,电阻率发生变化的现象。其贡献体现为电阻率相对变化项 Δρ/ρ。
一段均匀导体或半导体,电阻为
R = ρL/A
其中 ρ 为电阻率,L 为长度,A 为横截面积。
对 R 取对数并微分,得电阻相对变化:
ΔR/R = Δρ/ρ + ΔL/L − ΔA/A
设轴向应变为 ε = ΔL/L,横向应变与轴向应变之比为泊松比 μ,则
ΔA/A = −2μ ε
代入得:
ΔR/R = Δρ/ρ + (1+2μ)ε
式中:
K = (ΔR/R)/ε
将前式代入,得:
K = (Δρ/ρ)/ε + (1+2μ)
即灵敏度系数由电阻率变化项与几何项两部分组成。
金属材料:电阻率相对变化项 (Δρ/ρ)/ε 很小,几何项 1+2μ 占主导。因此金属电阻应变片的灵敏度系数近似为
K ≈ 1+2μ
金属的 μ 约为 0.3,故 K 约为 1.6~2.0。
半导体材料:电阻率相对变化项 (Δρ/ρ)/ε 远大于几何项 1+2μ,压阻效应占主导。半导体压阻效应比应变效应大几十到上百倍,几何项可忽略,灵敏度系数近似为
K ≈ (Δρ/ρ)/ε
半导体应变片的灵敏度系数可达几十至上百,远高于金属应变片。
上述推导假设材料处于弹性变形范围,L、A、ρ 的变化均为小量,且沿轴向单向受力。半导体压阻效应还与晶向、掺杂浓度和温度有关,实际使用中需按具体条件确定灵敏度系数。
暂无引用。