单组与差动变极距电容特性比较
单组变极距电容输出含偶次非线性项，差动结构用两电容一增一减的差值抵消偶次项，使相对变化量近似为 2x/d₀、灵敏度加倍并改善非线性。
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变极距电容灵敏度与线性范围分析
变极距电容传感器在位移远小于初始极距时近似线性，减小极距可提高灵敏度但缩小线性范围并增加击穿风险，采用差动结构可使相对输出近似为 2x/d₀ 并抵消偶次非线性项。
电容式传感器三类转换方式比较
电容式传感器按变化参数分为变极距、变面积、变介质三类，其中以容抗 XC=d/(ωεS) 作为输出量时，变极距型可对极距 d 实现线性读出；变面积与变介质型在理想情况下线性良好，但实际受边缘不均匀电场影响会产生非线性并降低灵敏度。
电容式传感器线性读出分析
电容式传感器通过容抗 XC=d/(ωεS) 将极距 d 线性转换为输出，或利用运放虚短虚断得到 Uo=-Ui·C/Cx 实现极距线性读出，差动结构以差和比形式进一步保证对称线性。