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概念概 述

光刻图形转移基本步骤

以涂胶、曝光、显影和图形转移为主线,说明光刻如何把掩模图形复制到基片表面薄膜或光刻胶上。

概念概 述

湿法与干法刻蚀

说明湿法刻蚀与干法刻蚀的基本作用、材料去除方式及选择去除目标材料的一般考虑。

概念概 述

物理与化学气相沉积

说明物理气相沉积与化学气相沉积作为薄膜沉积基本方法的作用与一般区别。