超精密加工及特种加工

形状怎样形成

教材这类方法利用超精密加工及特种加工实现微机械加工。微型器件形状通常由加工工具本身的形状或运动轨迹决定，可加工三维器件及形状复杂、精度高的微构件。

能加工某种结构，不等于已经解决与控制电路、敏感元件一起集成的问题。装配、对准与工艺兼容性应在系统方案中继续核查。

怎样与其他路线比较

若目标结构适合工具成形，可考虑该路线；若同时要求与电子加工一致，需要比较硅基表面、体微加工等路线的匹配。教材没有给出所有结构通用的最优方法或精度数值，不能只凭“超精密”名称确定方案。