微机电系统

完整微系统有哪些部分

MEMS是微机电系统。教材给出的完整系统由微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通信接口及电源等组成，目标是把信息获取、处理和执行集成为多功能微型系统，并可集成到较大系统中。

微传感器是其中一类部件，不能把任何一个小型敏感元件直接当作完整MEMS系统。

微型化还改变研究条件

MEMS涉及电子、机械、材料、制造、控制、物理、化学及生物等多学科。微米或纳米尺度下材料特性、加工方法具有特殊性，不能完全照搬传统宏观理论与制作方法。这不表示所有宏观规律一律失效，而是需要针对尺度重新核其假设和工艺。

教材MEMS工艺在硅平面工艺基础上发展，可制造三维微结构、运动结构及复杂力平衡结构；系统组成、微加工方法与最终测量机制是不同层面的说明。