微细加工技术

制造微结构

微细加工随着集成电路工艺发展，用于形成传感器需要的微小结构。教材列离子束、电子束、分子束、激光束与化学蚀刻等方法，说明能量束及化学加工都可进入这一技术范围。

不同工艺任务

这些是工艺范围，不能从清单推出每一种传感器必须依次经历全部工序。

与传感任务的联系

薄膜工艺可参与气体或湿度敏感器件制造，微结构制造可与MEMS结合，封装则影响微结构连接与使用条件。选择流程须先明确结构和材料；本节没有给刻蚀时间、温度或层厚，不能据名称直接形成可执行配方。