非电阻式半导体气体传感器

不只看电阻变化

非电阻式半导体气体传感器仍通过气体与半导体器件的相互作用获得信号，但读出的敏感特性不局限于电阻。教材举出：气体接触后，二极管伏安特性或场效应管阈值电压变化，由这些变化测定气体成分或浓度。

图11-2列出二极管气体传感器、MOS二极管气体传感器及Pd-MOSFET气体传感器。名称标明器件实现，不能仅凭“含MOS”就认定检测所有气体，也不能把阈值电压变化等同于直接得到气体浓度。

怎样与电阻式区分

电阻式半导体气体传感器 中气体首先改变敏感电阻，再经负载分压等电路输出电压；即便最终测电压，仍是电阻式。非电阻式则按二极管伏安曲线或场效应管阈值等敏感特性建立读出和标定。是否带加热器、是否输出电压，不足以单独作为分类依据。

本章在分类图与概述中列出这些实现，没有逐一展开器件结构、偏置方案或通用浓度公式。学习本卡应掌握类别和读出对象；不能把三种器件名称扩写为来源没有的性能范围、检测限或所有气体通用的模型。