光栅双闭环位置控制系统

两种反馈

教材图9-71含伺服电机、传动与工作台，电机端编码器提供角位置反馈，构成内环相关反馈；工作台光栅直接反映实际直线运动，参与外位置环。电机已转到目标角度并不保证传动后的台面位置完全达到目标，间隙和弹性可能造成差异。

误差驱动

位置指令与光栅反馈比较→误差计数→D/A与调节→伺服/传动→工作台→直线反馈。

可逆计数器按接线将指令加计、反馈减计时，输出差值对应尚需纠正的位置误差，不能把差值称为工作台已经移动的实际位置。反馈累计量与指令差值是不同信号。

控制条件

外环依据直接位移反馈修正定位，内外环仍需合适增益、采样和稳定性设计。直接测台面也不能无条件消除所有动态误差、摩擦和测量误差；“误差为零”还依参考点与脉冲当量是否正确。