集成传感器

同功能与异功能

同功能集成把同一类型敏感单元排列成阵列，使单点测量扩展为空间分布测量。图像感知与压力成像是教材例子。阵列中单元多，并不自动意味着检测变量种类多。

异功能集成把不同检测任务组装为一个器件，例如温湿度检测或压力、温度、湿度三变量检测。每个变量仍需相应转换关系。

从敏感单元到单片功能

单片集成还可把传感器与测量电路、微执行器放到同一芯片上。测量电路可承担放大、运算和温度补偿，执行器则作用于对象；这些任务不能全部归为敏感元件。

PTH例子

教材文字行307及图1-7标题给出压力—温度—湿度集成器件。这些文字明确三个感知任务，但不足以确定共享膜片、电极或接口的具体结构。