薄膜型热电偶

从两种薄膜到接点

用真空蒸镀或化学涂层等方法，将两种热电极薄膜制在绝缘基板上并形成接点。教材列云母、陶瓷、玻璃等基板；基板提供支承与绝缘，不能代替两种材料的热电作用。

小面积与动态测温

薄、微小接点的热容量较低，有利跟随快速变化的表面温度。教材示例膜厚0.01–0.1μm、毫秒级响应和300°C以下范围，均是其材料与结构语境，不是所有薄膜热电偶的固定规格。测量仍受薄膜附着、基板传热和与被测面的接触影响。